White-Light-Interference
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WeißlichtinterferometrieDie Weißlichtinterferometrie (WLI) ist eine berührungslose optische Messmethode, welche die Interferenz breitbandigen Lichts (Weißlicht) ausnutzt und so 3D-Profilmessungen von Strukturen mit Abmessungen zwischen einigen Zentimetern und einigen Mikrometern erlaubt. .. weiterlesen
Mirau-InterferometerEin Mirau-Interferometer oder Mirau-Objektiv ist ein Weißlichtinterferometer, das aus einem Mikroskopobjektiv, einem halbdurchlässigen Spiegel und einem Referenzspiegel besteht. Es wird meist zur optischen Vermessung und Klassifizierung von spiegelnden Oberflächen eingesetzt. Es wurde am 30. März 1949 von dem französischen Optiker André Henri Mirau erstmalig in Frankreich zum Patent angemeldet. .. weiterlesen
KohärenzlängeDie Kohärenzlänge ist in der Optik der maximale Weglängen- oder Laufzeitunterschied, den zwei Lichtstrahlen aus derselben Quelle haben dürfen, damit bei ihrer Überlagerung noch ein stabiles Interferenzmuster entsteht. Alle Lichtquellen emittieren nur Wellenzüge endlicher Länge, wobei diese Länge statistischen Schwankungen unterworfen ist. Alternativ kann man die Kohärenzlänge daher auch als die Länge eines einzelnen Wellenzuges definieren. Überschreitet die optische Weglängendifferenz die Kohärenzlänge der Lichtquelle, dann verschwindet das Interferenzmuster. .. weiterlesen