Step and Repeat DE
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200 x 300 Pixel (44458 Bytes)
Beschreibung:
Prinzipdarstellung der Belichtung von Wafern nach dem Step-and-Repeat-Prinzip. Dabei wird eine Teilmaske mehrfach an verschiedenen Positionen auf dem Wafer projiziert. Pro Schritt erfolgt die Belichtung über die gesamter Maske auf einmal.
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