SemiconductorRoadmap
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TechnologieknotenDer Begriff Technologieknoten bezeichnet in der Halbleitertechnik einen Meilenstein für die Definition einer Herstellungsprozessgeneration und bezieht sich im Wesentlichen auf die kleinste fotolithografisch herstellbare Strukturgröße. Seit 1997 wird er durch die International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) definiert. Der Begriff selbst ist jedoch sehr abstrakt und beschreibt nur grob den technologischen Fortschritt der Branche. So unterscheiden sich die eingesetzten Techniken nicht nur zwischen den verschiedenen Herstellern an einem Technologieknoten, sondern auch zwischen den Produkten eines Herstellers beim selben Technologieknoten. Des Weiteren gibt es keinen festen Bezug zur Gate-Länge. .. weiterlesen