Optical proximity correction DE
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Größe:
500 x 450 Pixel (8764 Bytes)
Beschreibung:
Links: Kantenverundung und Linienverkürzung durch den "optical proximity effect" bei der photolithographischen Abbildung
Rechts: Einfach "optical proximity correction" (OPC) der Fotomaske und deren Auswirkungen auf die Abbildung
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