LIGA-Verfahren

Autor/Urheber:

Cepheiden

Attribution:

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Shortlink:

https://dewiki.de/b/8767b

Quelle:

Wikimedia Commons

Größe:

512 x 455 Pixel (29526 Bytes)

Beschreibung:

Schematische Darstellung der Prozessfolge des LIGA-Prozesses (Lithografie, Galvanik und Abformung).

a-c) Lithografie, bestehend aus Reistsauftrag, Belichtung und Entwicklung d) Galvanik bzw. galvanische Abscheidung eines Metalls e-f) Abformung durch Anpressen des hergestellten Stempels an eine Formmasse, z.B. ein Kunststoff

g) abgeformte Form

Lizenz:

CC BY-SA 3.0

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Weitere Informationen zur Lizenz des Bildes finden Sie hier. Letzte Aktualisierung: Fri, 21 Jun 2024 20:29:49 GMT

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Das deutsche Akronym LIGA oder LiGA bezeichnet ein Verfahren, welches auf einer Kombination von Tiefenfotolithografie, Galvanik und Mikroabformung basiert. Das LIGA-Verfahren wurde Anfang der 1980er Jahre am damaligen Kernforschungszentrum Karlsruhe von einem Team unter Leitung von Erwin Willy Becker und Wolfgang Ehrfeld im Rahmen der Entwicklung des Trenndüsenverfahrens zur Urananreicherung entwickelt, um extrem kleine Trenndüsen herstellen zu können. .. weiterlesen