Black Silicon - ASE single


Autor/Urheber:
Christoph Kubasch (2005)
Attribution:
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Größe:
640 x 487 Pixel (14892 Bytes)
Beschreibung:
Rasterelektronenmikroskopaufnahme (REM) einer einzelnen "Silicium-Nadel", wie sie beim Schwarzen Silicium vorkommen. Herstellung durch Reaktives Ionentiefenätzen (DRIE) von Silicium (ASE-Prozess)
Lizenz:
Credit:
Christoph Kubasch (2005)
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