Atomic layer deposition - schematic cycle DE
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Beschreibung:
Schema der des ersten Zyklus einer Atomlagenabscheidung (zwei Komponenten,nicht idealisierte Darstellung)
6. Nicht reagierter Ligand von Reaktant A nach einem Zyklus
1. Mit dem Substrat reagierter Reaktant A
2. Physisorbierter Reaktant A auf abgeschiedener Schicht
3. Nicht beschichteter Bereich (z.B. aufgrund sterischer Hinderung)
4. Nicht beschichteter Bereich, entstanden durch Desorption im Spülzyklus
5. Zielmaterial nach der Reaktion von Reaktant B mit der Precursorschicht von Reaktant A
6. Nicht reagierter Ligand von Reaktant A nach einem Zyklus
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