Ionenstreuspektroskopie

Ionenstreuspektroskopie (auch Ionenstreuungsspektroskopie; englisch ion scattering spectroscopy, ISS) bezeichnet eine Gruppe von oberflächensensitiven Analyseverfahren:

• Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. low energy ion scattering, LEIS)
• Mittelenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. medium energy ion scattering, MEIS)
• Hochenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. high energy ion scattering, HEIS), üblicherweise als Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie (engl. Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS) bezeichnet